Id-dar > Wirja > Il-kontenut

Proċess ta 'fabbrikazzjoni ta' transistor tal-film irqiq (TFT)

Oct 19, 2017

Il-proċess tal-manifattura tat-TFT huwa maqsum f'sitt passi: film iebes, tindif, Ritratt, inċiżjoni, tneħħija ta 'l-istrixxi u l-ittestjar. Kif muri fl-istampa

QQ截图20171019145005.png


Proċess ta 'ebusija tal-films

  Il-proċess tal-film iebes jirreferi għall-proċess tal-iffurmar tal-film fuq il-ħġieġ (ħġieġ) b'metodi fiżiċi jew kimiċi, bħal elettrodi Gate, elettrodi tad-Data (Sors / Ixxotta), elettrodi tal-pixel, film iżolatur, film protettiv u film semikunduttur.

Id-Dejta tal-Bieb (Sors / Ixxotta) elettrodu, elettrodu, elettrodi tal-pixel huwa materjal tal-metall (aluminju, kromju, molibdenu, ITO), billi jintuża metodu fiżiku Sputtering (sputtering), u mbagħad Target (prinċipalment metall) ), il-materjal Target imqiegħed fuq il-Ħġieġ. Il-plażma (iż-żona tal-joni) hija Gass mhux attiv impjantat bejn żewġ elettrodi, li huwa applikat biex jiġġenera vultaġġ għoli u jonizza. Ionized inactive Strikes tal-gass fuq il-Target, u mbagħad is-sustanza Target mneħħija tgħaddi għal Ħġieġ biex tifforma l-membrana

QQ截图20171019145022.png


Film ta 'insulazzjoni, film protettiv, film semikonduttur huwa l-użu ta' metodi kimiċi (PECVD Plasma Enhanced Chemical Deposition Deposition), jintuża wara l-injezzjoni ta 'Gass bejn iż-żewġ elettrodi applikati enerġija ta' frekwenza għolja ġenerata minn Plasma (plażma) film fit-triq

Proċess ta 'tindif

Il-proċess ta 'tindif jirreferi għall-input inizjali jew il-proċess tal-ħġieġ jew it-tniġġis tal-wiċċ tal-membrana, tneħħija tal-partikoli bil-quddiem, sabiex jiġu evitati proċessi avversi. Huwa ta 'għajnuna li tkun żgurata l-adeżjoni bejn il-film u l-film. L-unità ewlenija hija t-tindif UV, Unità tat-tindif Brush, Unità Mega Sonic, Unità CJ (Cavitation Jet).

Proċess tar-ritratti

Il-proċess Photo jirreferi għall-operazzjoni tal-forma ta 'Maskra li tintuża biex tifforma l-film permezz tad-dawl, u l-morfoloġija tagħha timxi minn Mask għal Kisi (PR), inkluż kisi PR, espożizzjoni u immaġini.

QQ截图20171019145033.png

Proċess ta 'inċiżjoni  

Il-proċess ta 'inċiżjoni jirreferi għall-proċess li jneħħi b'mod selettiv il-film tal-aġent fotosensittiv (PR), li jitneħħa b'mod selettiv b'metodi fiżiċi u kimiċi. Hemm żewġ modi ta 'inċiżjoni: 1.Wet Inċiżjoni hija l-inċiżjoni ta' materjali tal-metall (aluminju, kromju, ITO, molibdenu) b'soluzzjoni kimika; 2.Dry Inċiżjoni ta 'inċiżjoni SiNx, a-Si mill-Plasma tal-Gass.

QQ截图20171019145042.png

Proċess ta 'tqaxxir

    Il-proċess ta 'l-istrippjar jirreferi għall-proċess li jneħħi l-Abbozz (PR) li jkun fadal wara l-proċess ta' inċiżjoni.

Il-kundizzjoni meħtieġa għall-proċess ta 'tneħħija tal-membrana hija li tneħħi kompletament il-PR, il-parti t'isfel tal-membrana m'għandhiex issirlu ħsara, iżda wkoll biex iżżomm stat uniformi tal-wiċċ għall-proċess li jmiss.


Proċedura ta 'sejbien

Proċedura ta 'spezzjoni tirreferi għall-investigazzjoni / evalwazzjoni ta' proċess, prodotti nofshom lesti, kwalità ta 'prodotti biex jiddeterminaw proċessi tajbin u ħżiena.