Id-dar > Wirja > Il-kontenut

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Sistema ta 'allinjament tal-vakwu

L-għan huwa li l-TFT u s-CF isiru f'kaxxi f'vakwu bi TFT u CF.

1.jpg


L-istruttura bażika hija kif ġej

2.jpg

Sistema ta 'Allinjament tal-Vakwu, Din tikkonsisti fis-sistemi li ġejjin 3

3.jpg

Vakwu Allinja Sistema Ħinijiet tax-xogħol, Prinċipalment fl-ordni li ġejja

4.jpg

1.1 sistema ta 'vakwu

Is-sistema tal-vakwu ta 'AS hija magħmula prinċipalment minn pompa tal-vakwu xotta (Pump Nixxef) u Pompa Molekulari Turbo;

DP normalment jieħu vakwu biss għal madwar 10Pa;

TMP jista 'jieħu l-vakwu għal madwar 1Pa;


Dan li ġej huwa dijagramma skematiku tal-pajp tal-vakwu ta 'magna VAS

5.jpg

1.2 adsorbiment tal-ħġieġ

Sistema ta 'allinjament tal-vakwu, ibbażata fuq il-ħtiġiet tal-preċiżjoni tal-kaxxa tal-ħġieġ, il-ħġieġ ma jistax ikollu xi deformazzjoni, iżda wkoll biex titnaqqas l-interferenza li taqa', l-assorbiment tal-ħġieġ fuq il-magna bl-assorbiment vakwu l-aktar qadim, żvilupp għal adsorbiment elettrostatiku, assorbiment tal-forza molekulari!

6.jpg

Ibbażat fuq l-adsorbiment elettrostatiku u l-assorbiment tal-forza molekulari, aħna nagħmlu t-tqabbil li ġej

7.jpg

1.3 sistema ta 'kontropunt

Sistema ta 'pożizzjonament, hija sempliċiment il-Koordinazzjoni tal-kisba Camera Mark, permezz tas-sistema tal-ipproċessar tal-immaġni, kalkolu ta' differenza fil-pożizzjoni tas-sottostrat, u mbagħad is-sistema ta 'kontroll taġġusta l-pożizzjoni tas-substrat, biex tikseb allinjament preċiż;

8.jpg

Il-proċess tal-allinjament huwa kif ġej

1. Aqbad u 'l isfel il-koordinati ta' Mark;

9.jpg

2. Ikkalkula l-theta kif muri fil-figura li ġejja

10.jpg


2. imbagħad, is-sottostrat inferjuri jiċċaqlaq, u punt ċentrali ġdid Bm 'jiġi kkalkulat

3. fl-aħħarnett, Bm'moves għall-pożizzjoni Um;