Id-dar > Wirja > Il-kontenut

Prekursur Film ħtiġiet

Jun 20, 2018

                                       Prekursur Film ħtiġiet


Konċentrazzjonijiet għolja (> atomiku diversi fil-mija)
ta ' l-idroġenu fil-film a-Si jistgħu jirriżultaw fil-foqra
kwalità tal-laser-kristallizzat poly-Si films
L-idroġenu tevolvi bi, li jikkawżaw l-
film kristallizzat li jkollhom bżieżaq/toqob
PECVD a-Si:H għandhom ikunu dehydrogenated qabel
kristallizzazzjoni tal-laser anneal
termali (ttremprar)eż.hr 1 f-450oC)
anneal baxxa-fluenza lejżer
Uniformità ħxuna tal-film ta ' si għandu jkun aħjar minn
±5%, għall-qamħ uniformi daqs

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png