Id-dar > Aħbarijiet > Il-kontenut

Relazzjoni bejn il-Parametri tal-Proċess u l-Istudju ta 'Espożizzjoni

Nov 17, 2017

Ġie mwettaq ammont kbir ta 'esperimenti ta' espożizzjoni u żvilupp biex tinkiseb il-grafika li tikkonforma mal-mira tal-proċess. Ir-riżultati sperimentali tal-grafika huma ġġenerati bl-applikazzjoni ta 'immaġini SEM biex timmonitorja l-użu tat-tagħmir, Ġappun kumpanija JEOL JSM-6401F, emissjoni fuq il-post, riżoluzzjoni 3 nm.


Fil-parti l-kbira tas-silikon CMOS Fin FET, il-materjal sottostrat stampat tal-kanal tal-kanal fin huwa SiO 2 (film dielettriku b'ħafna saffi), iżda sabiex tiġi studjata t-teknoloġija litografika tar-raġġ tal-elettroni stess,

L-espożizzjoni, il-proċess ta 'żvilupp u l-karatteristiċi ta' UV3 fuq SiO 2 ħoxnin u silikon tal-massa (prinċipalment fl-ewwel) huma investigati.


1. Influwenza tal-ħxuna tal-film tar-reżistenza

Fil-proċess ta 'espożizzjoni ta' raġġ ta 'elettroni, figura ta' preċiżjoni ogħla tista 'tinkiseb bil-ħxuna irqaq. Dan minħabba li jirreżisti irqaq jirrikjedi biss doża kritika aktar baxxa; u elettroni bl-istess enerġija x'aktarx li jippenetraw ir-reżistenza, b'tali mod li l-effett tal-firxa tal-elettroni jitnaqqas u r-riżoluzzjoni tal-mudell titjieb.


Il-proċess speċifiku ta 'kisi huwa: fuq il-magna awtomatika ta' omoġenizzazzjoni tat-trasferiment, l-ewwelnett, 10 ml jirreżistu mxejna fuq il-wiċċ ta 'wejfer tas-silikon ta' 100 mm, u mbagħad spin b'mod ugwali fil-veloċità ta '800 rpm. Fl-aħħarnett, il-kolla hija distribwita b'mod uniformi b'veloċità għolja għal 30 s. Il-ħxuna tal-film tar-reżistenza hija determinata bil-veloċità rotazzjonali u l-viskożità tar-reżistenza nnifisha (jiġifieri, il-kompożizzjoni tar-reżistenza). Il-veloċità massima permessa fil-magna uniformi tal-plastik (7000 RPM), sabiex tinkiseb ħxuna rqiqa tal-film, dan id-dokument jiġi dilwit b'mod selettiv UV 3, aġent li jraqa 'għal lactate ethyl.


Taħt l-istess kundizzjonijiet ta 'espożizzjoni u żvilupp (kondizzjonijiet ottimali), l-effett ta' ħxuna adeżiva differenti fuq id-daqs tal-forma tal-kanal huwa mqabbel, u r-riżultati huma murija fit-tabella 1.


Ir-riżultati sperimentali juru li l-irqaq jirreżisti, iżgħar daqs id-daqs tal-istampar. Il-limitu l-iktar baxx tal-ħxuna tal-ġell huwa li l-proprjetajiet kimiċi tal-ġell jinżammu bażikament matul il-proċess ta 'dilwizzjoni u jistgħu jkunu mgħottija biżżejjed fil-proċess ta' inċiżjoni sussegwenti.

1.png

2. Influwenza ta 'parametri ta' espożizzjoni ta 'raġġ ta' elettroni

Espożizzjoni għal proċess ta 'espożizzjoni ta' raġġ ta 'elettroni, il-parametri ewlenin li jaffettwaw l-eżattezza tal-espożizzjoni tal-immaġni esponiment tal-enerġija tal-esponiment, kurrent tar-raġġ, skanjar spazjar tal-grilja, .


Hemm korrelazzjoni importanti bejn id-daqs tal-post u l-preċiżjoni tal-mudell. Il-Figura 1 turi l-mudell tal-kanal SEM taħt tliet kundizzjonijiet ta 'esponiment. Id-dijametri tal-post tar-raġġ għat-tliet kundizzjonijiet (50 keV, 4 LO, kurrenti ta 'raġġ 25 pA, 50 pA u 100 pA) huma 30 nm, 50 nm, 100 nm u 50 keV, rispettivament.


Għall-wajer tad-disinn tad-disinn ta '50 nm, ir-riżultati tal-espożizzjoni tiegħu huma murija fil-Figura 1, rispettivament 160 nm, 180 nm, 230 nm. L-aħħar żewġ trufijiet grafiċi huma bla xkiel, filwaqt li t-tarf grafika l-ewwel għandu jaggies ovvji.


Dan minħabba li l-effett ta 'prossimità tal-post ta' raġġ ta 'dijametru iżgħar (30 nm) għandu inqas influwenza fuq iż-żona tal-madwar f'ċerti grawnds ta' skannjar, għalhekk iż-żona transitorja bejn il-grilji tal-iskannjar tidher sewwa u b'hekk it-tarf tax-xejra jvarja.

2.png

Id-daqs tal-qasam jaffettwa wkoll il-ħin ta 'espożizzjoni attwali. Għal disinn tal-grilja fuq ċellula standard ta '2.8 mm × 2.1 mm, il-ħinijiet ta' espożizzjoni għat-tliet kondizzjonijiet ta 'hawn fuq huma 60 minuta, 30 minuta u 15 min, rispettivament, u bil-ħames objettiv, iż-żmien jiżdied 50% ta 'hawn fuq.


Fattur importanti ieħor li jaffettwa l-preċiżjoni tad-disinn huwa l-effett ta 'prossimità inerenti ta' espożizzjoni ta 'raġġ ta' elettroni. Proċess ta 'esponiment ta' raġġ ta 'elettroni, l-elettron fil-ħabtiet ta' resist u sostituzzjoni multipla, tifrix, sabiex fiż-żona esposta maġenb ir-reġjun biex jipproduċi espożizzjoni mhux mixtieqa, li jirriżulta fit-tarf tal-immaġni ċċajpar, deformazzjoni, tnaqqis qawwi, li hu Effett ta 'prossimità ta' espożizzjoni ta 'raġġ ta' elettroni.


L-effetti ta 'prossimità għandhom jiġu korretti għal forom kumplessi, inkella l-preċiżjoni tal-forma tkun iddominata. Il-metodi ewlenin biex jikkoreġu l-effett ta 'prossimità huma l-modulazzjoni tad-doża, ix-xaqliba tal-mudell, GHO ST, sinteżi tas-softwer, eċċ.


Peress li t-tqassim attwali tat-tqassim tal-mezz huwa relattivament sempliċi, kważi l-grafika tal-linja dritta kollha, u huma 'l bogħod minn xulxin, għalhekk l-ebda korrezzjoni tal-effett ta' prossimità. Barra minn hekk, kamp elettriku iżgħar li jaċċellera jikkorrispondi għal post ta 'raġġ akbar u effett ta' prossimità, u l-ebda tibdil ma ġie investigat f'dan id-dokument.


Il-kundizzjonijiet tal-ottimizzazzjoni finali tal-espożizzjoni kienu: kamp elettriku ta 'aċċelerazzjoni ta' 50 keV, raġġ ta '50 pA, spazju ta' skannjar ta '12.5 nm, iffukar tar-raba' lenti mingħajr korrezzjoni tal-effett ta 'prossimità.


3. Effett tad-doża ta 'l-espożizzjoni

Għal reżistenza pożittiva, il-ħxuna residwali tal-kolla fuq il-mudell espost tiżdied b'doża ta 'espożizzjoni li qed tonqos wara l-iżvilupp. Il-kurva tal-paragun tad-doża ta 'l-espożizzjoni ta' raġġ tal-UV3 murija fil-Figura 2 fuq l-assi tax-xellug.


F'50 keV, kurrent tar-raġġ ta '50 pA, spazju ta' skannjar tal-grilja ta '12.5 nm, esponiment tar-raġġ ta' elettroni tar-raba 'lenti u żvilupp CD-26 għal 1 min, id-doża kritika fuq it-topografija UV 3 kienet ta' 18 μC / ċm 2 , Il-proporzjon tal-kuntrast sensittiv għad-doża ta '2.84 (Definizzjoni 1 / (lo g10 Dc-log10 D0)).


Min-naħa l-oħra, id-doża tal-esponiment taffettwa wkoll id-daqs tal-mudell, li huwa kkawżat mill-effett ta 'prossimità b'raġġ elettroniku. L-assi dritt tal-Figura 2 turi r-relazzjoni bejn id-daqs tal-figura ewlenija u d-doża ta 'espożizzjoni. Għalkemm skoperturi iżgħar huma disponibbli b'dożi ta 'espożizzjoni iżgħar, it-truf tad-disinn huma fqar u jista' jkun hemm xi kolla residwa fil-kanali; billi d-doża tiżdied, il-wisa 'tal-linja tiżdied. Għalhekk, għandna bżonn nagħmlu l-aħjar doża ta 'espożizzjoni

3.png