info@panadisplay.com
X'inhuma r-rekwiżiti li jissodisfaw il-prestazzjoni tal-fotografija?

X'inhuma r-rekwiżiti li jissodisfaw il-prestazzjoni tal-fotografija?

Mar 15, 2018

B'mod ġenerali, ir-rekwiżiti ta 'prestazzjoni tal-fotoresistiku jinkludu l-punti li ġejjin:

Is-soluzzjoni tal-qawwa: Grafika minima tista 'tipproduċi saff fotoreżistiku jew l-ispazjar normalment jintuża bħala riżoluzzjoni fotoreżoristika, riżoluzzjoni fotoreżistika speċifika tirreferi għall-proċess speċifiku ta' riżoluzzjoni, li jinkludi sors ta 'esponiment u proċess ta' żvilupp, jibdlu l- parametri tal-proċess ta ' ibdel ir-riżoluzzjoni inerenti.


B'mod ġenerali, il-wisa 'tal-linja irqaq jeħtieġ li l-film fotoreżist irqiq jipproduċi. Għalhekk, il-film photoresist għandu jkun ħoxna biżżejjed biex jilħaq il-funzjoni ta 'l-inċiżjoni ta' l-ostaklu u jiżgura li ma jkunx hemm vakwu. Għalhekk, l-għażla ta 'photoresist hija l-kompromess bejn iż-żewġ għanijiet. Il-proporzjon tal-wisa 'tal-fond (il-proporzjon tal-aspett) jista' jintuża biex titkejjel il-kapaċità speċjali tal-fotoreżist biex tkun relatata mar-riżoluzzjoni u l-ħxuna tal-fotoreżist. Il-proporzjon pożittiv ta 'adeżiv negattiv għandu proporzjon ta' aspett ogħla, u għalhekk huwa aktar adattat għall-għażla pożittiva ta 'ċirkwit integrat fuq skala kbira.


Kapaċità ta 'tgħaqqid: Il-fotoreżist għandu jaderixxi sew mal-wiċċ tal-wejfer, inkella l-inċiżjoni se tgħawweġ. Il-kapaċità li tirreżisti wiċċ ta 'twaħħil differenti hija differenti, ħafna fotoreżi tal-proċess hija li tiżdied il-kapaċità ta' twaħħil ta 'photoresist u disinn, kolla negattiva ġeneralment għandha kapaċità iktar b'saħħitha mill-bond pożittiv.


Veloċità u sensittività tal-espożizzjoni: L-iktar malajr ir-reazzjoni fotoreżoristika, aktar mgħaġġla l-veloċità tal-ipproċessar. Is-sensittività fotoreżistiva u ċomb għal polimerizzazzjoni jew dissoluzjoni fotojinnata sseħħ għall-enerġija totali, b'vantaġġi enerġetiċi u wavelength ta 'espożizzjoni ta' sors speċifiku, kemm jekk hija ultravjola, dawl viżibbli, mewġ tar-radju, X-rays, li huma radjazzjoni elettromanjetika, inqas mil-wavelength, l-ogħla tkun l-enerġija, għalhekk mill-perspettiva enerġetika, X radjazzjoni ultravjola estrema>>>> id-dawl viżibbli tal-UV ultravjola qawwi.


Wisa 'tal-kapaċità tal-proċess: Id-devjazzjoni interna tista' sseħħ f'kull pass tal-proċess. Xi photoresists għandhom marġni akbar ta 'varjazzjoni fil-varjazzjoni tal-proċess u għandhom firxa usa' ta 'proċess. Aktar ma tkun wiesgħa l-firxa tal-proċess, aktar tkun il-possibbiltà li tinkiseb l-ispeċifikazzjoni tad-daqs meħtieġa fuq il-wiċċ tal-fetet.


Pinhole: Il-pinhole huwa vojt is-saff fotoreżistiku huwa daqs żgħir ħafna tal-pinhole, se jippermetti l-infiltrazzjoni etzjali tas-saff fotoreżistiku fuq il-wiċċ tal-weraq u toqob ta 'inċiżjoni, li jirriżulta fil-pinhole huwa kisi minn kontaminanti tal-partikuli fl-ambjent, jista' Għandek ukoll toqba fl-istruttura ta 'saff fotoreżistiku kkawżat minn. Is-saff fotoreżistiku huwa irqaq u aktar pinhole huwa ogħla, minħabba l-proporzjon ta 'l-aspett pożittiv bil-film fotoreżistiv pożittiv eħxen ġeneralment permess.


Kopertura tal-pass: Qabel l-ipproċessar tal-weraq, hemm ħafna saffi fuq il-wiċċ tal-fetet. Bit-teknoloġija tal-wafer għaddej, il-wiċċ ikollu aktar saffi. Sabiex il-photoresist ikollu l-funzjoni li jimblokka l-inċiżjoni, għandu jkollu biżżejjed ħxuna tal-film fuq is-saff ta 'qabel.


Proċess termiku: Il-proċess litografiku jinkludi ħami artab u ħami iebes, iżda minħabba li l-fotoreżorestiċi huwa simili għal materjal tal-plastik, se jsir artab jew saħansitra fluss fil-ħami, li jaffettwa d-daqs finali tal-grafika. Għalhekk, il-photoresist għandu jżomm il-proprjetajiet u l-istruttura tiegħu fil-proċess tal-ħami.


Partiċelli u livelli ta 'tniġġis: Photoresist, bħal snajja oħra, għandu jkun strettament standard f'termini ta' kontenut ta 'partiċelli, sodju, traċċi ta' impuritajiet tal-metall, kontenut ta 'ilma u oħrajn.


Barra minn hekk, fil-proċess hemm ħafna fatturi oħra li għandhom jiġu kkunsidrati, bħall-maskla fil-kamp qawwi (żona ta 'espożizzjoni) huma faċilment influwenzati mix-xquq tal-ħġieġ u ħmieġ, jekk tuża kliem negattiv jidhru toqob għall-inċiżjoni tal-kolla u d-dlam parti mhix faċli biex tidher fil-pinhole, iż-żona tat-toqob iż-żgħira hija grafika pożittiva, hija l-unika għażla. Fil-proċess tat-tneħħija ta 'photoresist jinstab ukoll, it-tneħħija tal-plastik milli titneħħa kolla negattiva għal.